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薄膜沉積控制儀的結構介紹
發布時間2017/11/27 9:50:23 閱讀次數:3991次

    薄膜沉積控制儀的輸入端口可采集高低電平、電壓、電流等信號,同時端口還復用輸出資源,輸出為DOH,3A,可直接驅動電磁閥,該產品還具有高防護等級、小體積、高集成度、高響應速度等優點。在沒有流體流經流量管時,流量管由安裝在流量管端部的電磁驅動線圈驅動,其振幅小于1mm,頻率約為80Hz,流體流入流量管時被強制接受流量管的上下垂直運動。在流量管向上振動的半個周期內,流體反抗管子向上運動而對流量管施加一個向下的力;反之,流出流量管的流體對流量管施加一個向上的力以反抗管子向下運動而使其垂直動量減少。這便導致流量管產生扭曲,在振動的另外半個周期,流量管向下振動,扭曲方向則相反。

 

    由于溫度影響流管鋼性,科氏力產生的扭曲量也將受溫度影響。被測量的流量不斷由變送器調整,后者隨時檢測粘在流管外表上的鉑電阻溫度計輸出。變送器用一個三相的電阻溫度計電橋放大電路來測量傳感器溫度,放大器的輸出電壓轉化成頻率,并由計數器數字化后讀入微處理器。每一臺傳感器生產好后振動管本身的質量就確定了,薄膜沉積控制儀的振動管中介質的質量是介質密度與振動管體積的乘積,而振動管的體積對每種口徑的傳感器來說是固定的,因此振動頻率直接與密度有相應的關系,那么,對于確定結構和材料的傳感器,介質的密度可以通過測量流量管的諧振頻率獲得,抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的管道,采用圓弧過渡,使氣路暢通無阻,但要考慮清洗清掃的方便性。

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